卫浴大厂 TOTO 宣布斥资 600 亿日元建设半导体用途陶瓷工厂

IT之家 11 月 2 日消息，日本卫浴大厂 TOTO（东陶）当地时间 10 月 30 日宣布将在其福冈丰前生产基地内新建一座总建筑面积 3.6 万平方米的生产设施，总投资 600 亿日元（IT之家注：现汇率约合 25.35 亿元人民币），预计 2029 财年上半年投产。

这座新工厂将制造新一代静电吸盘和气溶胶沉积 (AD) 薄膜，两者均面向半导体制造中的蚀刻工艺，拥有出色的等离子体腐蚀耐受性能。

▲ 静电吸盘

▲ 气溶胶沉积薄膜

TOTO 还将在位于大分中津的两家工厂购置下一代 AD 组件的量产设备。这部分投资额约为 110 亿日元（现汇率约合 4.65 亿元人民币），预计 2028 财年投产。

卫浴大厂 TOTO 宣布斥资 600 亿日元建设半导体用途陶瓷工厂

IT之家 11 月 2 日消息，日本卫浴大厂 TOTO（东陶）当地时间 10 月 30 日宣布将在其福冈丰前生产基地内新建一座总建筑面积 3.6 万平方米的生产设施，总投资 600 亿日元（IT之家注：现汇率约合 25.35 亿元人民币），预计 2029 财年上半年投产。

这座新工厂将制造新一代静电吸盘和气溶胶沉积 (AD) 薄膜，两者均面向半导体制造中的蚀刻工艺，拥有出色的等离子体腐蚀耐受性能。

▲ 静电吸盘

▲ 气溶胶沉积薄膜

TOTO 还将在位于大分中津的两家工厂购置下一代 AD 组件的量产设备。这部分投资额约为 110 亿日元（现汇率约合 4.65 亿元人民币），预计 2028 财年投产。